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大直径高品质硅单晶材料研制

2012年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
  “Φ9”大直径高品质特种硅单晶材料,从品质、纯度上来讲,它介于太阳能级大直径优质硅单晶材料与电子级大直径单晶材料之间,它的纯度要求大于11个“9”以上,接近电子级的下限水平,而太能能电池级仅为9个“9”左右。这类产品比集成电路级又低一个档次。产品在技术难度上与“Φ10”和“Φ12”相接近,规格特殊,用途单一,国内较少有人去进行这种产品的研制,将填补国内空白。
  研制过程中,研究出...
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