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多晶铸锭炉铸造N型大晶粒(单晶)硅锭

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
  本项目的研究是将一定数量、具有一定晶向的晶体,放置到多晶坩埚底部,并按照一定配比将硅料装到430~450公斤,然后放置到经过调整后的多晶铸锭炉中进行生长。其中硅料熔化阶段需要进行精细控制,并控制底部晶体的引晶效果,同时生长阶段按照一定的温度梯度和固液界面进行调整和控制,来满足磷原子在溶硅中的分凝效果,并达到最终生长出类单晶的效果。类单晶铸造课题主要通过缺陷分析,表征测试,热场模拟等手段,研究晶...
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