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钟表精密零部件上表面功能涂层技术的应用

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　课题来源与背景
　　本项目是省科技厅于2009年4月以省部产学研引导项目下达由广州有色金属研究院、飞亚达（集团）股份有限公司和哈尔滨工业大学共同承担，项目编号：2009B090300291。
　　技术原理及性能指标
　　采用阳极层流型矩形气体离子源与非平衡磁控溅射的复合技术制备类金刚石膜。含碳气体经离子源，使其离化成碳离子，在工件表面沉积含SP3键的类金刚石...
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