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四氯化硅热氢化热场新型设计及应用

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
项目着重开发四氯化硅热氢化新型热场，优化四氯化硅—三氯氢硅的热氢化转化率、降低能耗和延长使用寿命。目标是将热场的转化率从18%提高到22%以上；转化电耗降低到2.5kwh/kg SiHCl3；延长热场寿命到4个月以上。
通过2010年12月第一套新设计安装的热场投入运行，至2011年6月停车，连续6个月的稳定安全生产，达到了各项性能指标的优化目标：
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