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4000～4500A/8500V全压接6英寸特大功率晶闸管

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　自主地引导半导体原材料、配套件开发并实现国产化，通过对特高压晶闸管最佳物理结构的研究设计，攻克了器件的关键技术，创新性的制定了器件专有独特制造工艺。解决的技术难题有：原始硅片极限电压电阻率定义及检验；拓展开发了特高压双向阻断晶闸管长短基区临界薄设计理论，电压片厚比极大化的模拟程序与制造工艺流程；研制成杂质浓度梯度反型低以及弥漫软着陆高寿命高均匀性扩散掺杂技术；创造正反向对称P型径向变掺杂，双负...
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