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3400A/8000V特大功率光控晶闸管

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　通过自主创新，促进了国产高阻高均匀硅化腐片、金属宝石套钳陶瓷管壳的开发，研究特高压光控晶闸管最佳物理结构、专有制造工艺。解决的关键技术有：原始硅单晶材料参数优化选择及技术规范的相关验证；灵敏光触发-过压自保护触发-开通限流功能中心集成技术；杂质浓度梯度反型低工艺流程设计；中心功能区及边缘终端区杂质分布计算机仿真模拟及工艺兼容方案；版图工艺共对准原则所保证的精细制版及套刻技术；BOD电压设定与调...
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