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电子辐照精控功率半导体器件少子寿命技术

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
在生产快速、高频可控硅以及快恢复二极管的工艺过程中，为了提高开关速度，必须降低关断时间以及反向恢复时间，同时正向通态压降要尽量的小。传统的扩金(扩铂)工艺是在高温下进行，电参数一致性差，成品率低；而高能电子辐照，工艺简洁、容易控制，电参数一致性好，而且性能稳定，成品率高。美国、英国、波兰和意大刺等国在生产快速或高频半导体器件中一般均采用高能电子辐照。在国内，多年来，高能电子辐照经过推广也开...
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