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空心微珠表面磁控溅射镀膜及其在电磁屏蔽中的应用

2012年

基础理论

成果简介

本项目属于工程和技术领域。
本项目根据磁控溅射及粉体颗粒的特点，设计并研制了一套微颗粒磁控溅射镀膜实验设备；采用实验与理论分析相结合的方法，对在粉体颗粒表面磁控溅射镀金属薄膜和氧化物薄膜进行了系统的实验研究，并对粉体颗粒表面磁控溅射镀膜的机理进行了研究；同时还对微颗粒表面镀金属膜的应用进行了研究。
本项目的科学价值在于：
(1)首...

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