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新型大功率器件技术研究

2012年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
  完成了大功率双透明电极发光二极管(LED)的结构设计与工艺优化,解决了单片线阵双透明电极的关键制备工艺,解决了垂直结构LED的关键工艺技术,包括晶片键合技术、激光剥离技术,采用高温键合、电镀等工艺,实现了多种高热导率衬底和GaN外延片的键合,采用激光剥离技术实现剥离成品率大于95%,制备出垂直结构LED原型器件。制备出发光效率大于100lm/W的功率型发光二极管。...
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