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超大规模集成电路65-40纳米成套产品工艺研发与产业化

2012年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　中芯国际组织了500多人的研发团队，通过大量的理论研究和4万多次工艺实验，对数千步工艺进行参数优化和成套工艺的集成，经过5年多艰苦努力，最后研发出国内领先、世界先进的集成电路65-40纳米产品的大生产成套工艺，建立低功耗（LL）、通用（G）和射频混合信号(RF)集成电路的工艺平台，以及相应的设计IP核库、可制造设计（DFM）、大生产产品良率提升等技术，建立了为国产材料和设备提供大生产条件下的工...
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