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复合多功能镀膜设备及高性能刀具镀膜工艺

2011年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

本成果来源于粤港关键领域重点突破项目，面向精密制造业，用于对工具、模具及精密部件表面进行强化处理，以提高加工质量、使用寿命及其它综合性能。技术涉及一种材料真空表面处理装备的设计制造与工艺开发。该装备尺寸为（直径×高度）φ850×1200 mm，极限真空度：1×10-4 Pa；蒸发电弧源8组，功率2KW /组，磁控源电源的功率为30KVA；离子注入输出脉冲电压10-60KV连续可调，频率范围...

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