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精馏塔内件改造扩能

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
工艺流程：
三氯氢硅原料经一级塔分离后，四氯化硅、金属氯化物及高氯硅烷、含磷化合物、含碳氯化物及硅粉等高沸物从塔底排出，三氯氢硅等低沸物从塔顶排出后进入二级塔进行精馏，塔顶除去二氯二氢硅、三氯化硼等低沸物，塔底三氯氢硅进入三级塔进行除高沸处理，塔底去除残留的少量含磷、含碳及金属元素等高沸物，提纯后的三氯氢硅从塔顶出来进入四级塔进行去低沸处理，进一步除去残存的硼类化合物，...
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