首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

硅粉尾气压料改造

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
三氯氢硅合成炉硅粉加料一般采用氮气压料，当硅粉加入到三氯氢硅合成炉时，干燥器中的氮气也随之进入三氯氢硅合成炉，导致合成尾气中含有大量的氮气，尾气中氢气的含量相对降低，使尾气经氯化氢合成炉燃烧后产生的氯化氢气体的含量不达标，氮含量超标，降低了三氯氢硅粗品的含量和收率。
采用合成尾气压料控制三氯氢硅尾气中氮气含量。当硅粉加入到硅粉干燥器后，加热到100℃以上4个小时，取样检...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统