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3200t/a废弃氯硅烷吸附

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
三氯硅烷的吸附装置是一个固液吸附系统，通过减少废弃三氯硅烷中有害杂质的浓度，可提纯三氯硅烷，其目的是去除硼、磷、有机物等有害杂质和金属杂质。
该项目工艺路线是：从提纯系统中排出的三氯硅烷废物送到存储罐，利用输送设备转移到吸附系统。吸附系统由四个吸附塔组成，分为两套。充满活性炭的前两个吸附柱主要用于消除有机杂质和一些金属元素。以硅胶填充的后两个吸附柱用于吸附其他包括硼和磷...
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