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三氯氢硅合成用新型高效高产流化床新工艺

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　1、课题来源与背景
　　我国生产三氯氢硅所用的生产工艺大部分是硅氢氯化法，但是很多厂家所使用的合成炉都是直径在800mm以下的炉子，其结构大多为筒形，上部直径扩大部分是气固相分离段，该段高有出料口，中部的直筒段是反应段，反应段外包加热器，上部设有硅粉进料口，底部连接下封头，下封头上有氯化氢进气口。这种小型流化床反应器流化质量不好，生产出来的成品转化率低，单台炉的产能低，在生产中需要...
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