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多晶硅铸锭炉用双回路加热电源

2011年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
我公司在吸收国外先进技术的基础上，结合自身技术优势，设计了多晶硅铸锭炉用双回路电源，其中一个回路接到多晶硅加热炉的上层加热的上层加热极板上，另一个回路接到多晶硅加热炉的下层加热极板上。两个回路可工作在同时供电状态，也可工作在交替状态。整个系统由PLC上位机统一协调控制，PLC根据多晶硅铸锭炉的工艺要求，控制晶闸管的、调功器的给定功率，并且通过检测铸锭炉内的温度值确定铸锭炉是否按照设定的曲线...
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