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软着陆全密封洁净扩散炉

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
软着陆全密封洁净扩散炉是晶体硅太阳电池生产线上的关键工艺装备，用来制备光伏电池光电转换的核心单元pn结，是国际先进技术发展的主流方向。
软着陆全密封洁净扩散炉项目主要在以下几个方面取得了重大技术突破：1.全密封洁净闭管高温扩散/氧化最佳工艺；2.大口径长温区高精度温度控制；3.高温炉门自动密闭机构设计；4.高温尾气定向收集；5.推舟软着陆。这些创新性成果均处于国内领先、...
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