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纳米尺寸测量与定标技术研究

2011年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
国家科技部质检公益性行业专项“纳米尺寸测量与定标技术研究”是针对先进制造业中有关微细加工和超精密加工中对微纳尺寸测量和溯源的要求而开展的。
该项目通过系统环境测试、重复性实验、稳定性考核、不确定度分析、实验室间比对，以及对检定校准结果的验证，研究和开展了台阶和线间隔标准样板的检定和校准工作。完成或超出项目既定的技术指标，即实现了在25mm×25mm×5mm范围内实现系统...
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