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金属有机物化学气相沉积（MOCVD）设备

2011年

应用技术

中期阶段

成果简介

　　半导体LED照明作为一种新型的低耗能光源技术，已被视为国家的战略性核心产业，将是未来几年里节能减排最重要的和最有效的措施之一。随着各级政府用于发展LED制造业的投入不断增加，LED外延片和芯片生产设备在中国市场的销售额正以令人惊讶的速度迅速扩大。而目前此类设备市场几乎完全由国外公司垄断。我国为扶植半导体LED照明产业，在国内LED生产厂家购置国外此类设备时给予了大量的资金补贴。以外延片生产核心...

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