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主流式电阻超高速激光调阻机产业化

2009年 应用技术
  • 成果简介
本项目是具有自主创新和知识产权的三代激光调阻机，已通过中国科学院长春分院和吉林省科技厅技术鉴定。其关键技术包括：超高速激光调阻光刻控制研究、光刻轨迹与电阻阻值关系理论分析、保精度前提下的调阻控制时间压缩、半导体激光器的调阻工艺分析与实验、运动控制机构速度提升、不同尺寸几板快速更换机构设计等技术。
已进行批量生产。...
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