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一种多晶硅生产过程中的副产物的综合利用方法

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本成果属于新材料领域，项目涉及一种多晶硅副产物的综合利用关键技术，利用多晶硅生产过程中的副产物SiCl4生产气相二氧化硅，实现循环经济、节能减排、环保生产。
在目前普遍采用的改良西门子法多晶硅生产工艺中，每生产1吨多晶硅就有10～15吨的副产物四氯化硅产生。四氯化硅是沸点低、无色的发烟液体，具有难闻的窒息性气味，易水解释放腐蚀性气体氯化氢，运输储存极其不便，对环境和安全...
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