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发光二极管（LED）外延片材料和生长方法

2011年

应用技术

初期阶段

成果简介

一、技术路线
1、在GaN基MOCVD专用设备上，利用金属有机化学气相沉积（MOCVD）技术，采用三甲基稼、二茂镁、氨气、硅烷等原材料，在蓝宝石基片上，外延生长LED外延片（前道产品）。
2、GaN基蓝光LED外延片，再经过以下工艺流程加工成蓝光LED管芯（中道产品）：“外延片清洗—PECVD生产SiO2—光刻台面—干法刻蚀台面—光刻P区—蒸镀P型电...

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