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特殊气体供应和分配设备

2011年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
该成果应用于微电子行业芯片以及太阳能电池等制造过程，对设备制程气体介质的输送及吹扫作用，采用先进的数字化控制技术对气动阀件进行自动控制，并具有无泄漏气体密封和抗震动特性，对不同介质的安全性起到非常重要的作用。...
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