国家科技成果网
热门搜索:  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

国家科技成果网 首页 成果 查看内容

单晶炉中籽晶与熔融硅液面接触的检测方法

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
技术领域
本发明属于运动位置检测技术领域,涉及单晶炉中晶体运动位置的检测方法,具体涉及籽晶与熔融硅液面接触的检测方法。
背景技术
直拉法生长单晶硅从装入多晶硅原料到拉出单晶需要经过多个过程,其中包括抽真空、检漏、化硅、引细径、放肩和转肩、等径、收尾等。其中的引细径过程需要将籽晶蘸入熔融硅液体中,进行融籽晶,通过图像观察籽晶生长情况...
相关成果

标签云

相关机构

Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位:科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统