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新型谐振力敏传感器

2009年 应用技术
  • 成果简介
该成果采用谐振硅梁，集成激励与时振元件。当加入激励电压后，硅梁在一基频下振动，当附加压力或力时，振动频率发生变化，利用此原理可得到压力（或力）与频率变化的对立曲线。该成果的创造性是利用四电极化学腐蚀技术和单晶硅腐蚀速率各向异性的特点，在硅片的雕刻出梁长为690μm、宽80μm、厚5μm以及集成静电激励元件及压阻时振元件的谐振硅梁。成果的先进性是传感器频率输出，分辨率高、稳定性好。该成果完成...
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