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微机电系统集成设计平台

2010年

应用技术

成果简介

微机电系统（MEMS）具有体积小、功能集成、成本低和可靠度高等特点，是武器微小型化的重要实现手段。本项目打破国外的技术封锁，建立了国内首个较为完整的具有自主知识产权的MEMS集成设计工具MEMS Garden。设计工具分为系统级、器件级、工艺级三个阶层，为不同工程背景的用户提供设计入口，可支持大多数机电耦合类MEMS器件的设计和仿真，相关成果已申请国家发明专利6项。
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