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基于AFM的纳米刻蚀加工技术

2008年

应用技术

成果简介

项目简介：
原子力显微镜（AFM）技术的原理是基于微探针与样品表面之间的原子力作用效应，这种作用不受样品导电性的限制，因此，AFM可广泛应用于导体、半导体和绝缘体样品的纳米检测及纳米计量；另一方面，基于AFM的微探针与样品表面之间的原子力加载作用，可对样品表面进行纳米刻蚀，通过控制加载力的大小和微探针的扫描路径，加工制备出不同线宽、不同深度、不同形状的微纳米结构。...

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