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制备锑化镓基半导体器件用的化学腐蚀液体系

2004年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
工作於2～4微米的锑化镓基半导体量子阱激光器和探测器在痕量气体监测、医学诊断等方面有重要的应用。镓砷基含锑高速电子器件是高速数字处理系统的关键器件。
由于目前用于含锑化合物半导体的化学腐蚀液在器件工艺中难于控制，因而器件工艺受到许多限制，影响了器件性能，本发明研发了制备锑化镓基半导体器件用的新化学腐蚀液，它包括盐酸系、氢氟酸系和酒石酸盐系三种体系。盐酸系腐蚀液组成为盐酸...
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