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TDR-150型大尺寸直拉单晶炉

2009年

应用技术

成果简介

由西安理工大学和北京有色金属研究院联合研制开发的“TDR一150型单晶炉(12″MCZ综合系统)”项目，目前已通过国家“863”项目验收，这标志着拥有自主知识产权和核心技术的大尺寸集成电路与太阳能用单晶硅设备在我国首次研究成功。该成果的取得填补了国内空白，打破了国外公司在12英寸单晶炉设备关键技术方面对中国的封锁，标志着我国超大规模集成电路和太阳能产业的关键技术装备的生产上了一个新台阶，对...

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