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图形化蓝宝石衬底刻蚀系统（PSS-ICP）及成套图形衬底制备技术

2010年

应用技术

成果简介

技术特点：
1. 提供完整的成套低成本图形化衬底制备技术，有效提高GaN基发光二极管的出光率。
2. 提供自主研发的全自动国产化图形衬底刻蚀系统，单次刻蚀衬底数＞7片。
3. 提供成套图形化衬底制造工艺相关的低成本制造设备方案及工艺咨询服务。
主要指标：
1. 多种图形化衬底结构和配套工艺方...

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