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激光合成波长纳米位移测量原理及方法的研究

2010年 应用技术
  • 成果简介
本项目创造性地提出了采用激光合成波长实现干涉条纹细分的基本原理；提出了一种基于激光合成波长条纹细分原理的纳米测量新方法；发明了一套在毫米量程范围内达到纳米级精度的测试计量技术及应用系统；解决了微电子、超精密加工和精密检测计量等技术领域中大范围高精度位移测量的关键共性技术难题；被中国计量科学研究院采纳，作为我国大范围、高精度纳米位移标准计量仪器。
以双频激光器为光源、两个...
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