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碳化硅晶体生长设备和晶体制备关键技术

2010年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
碳化硅(SiC)作为重要的第三代半导体材料，是制作高温、高频、大功率、高压以及抗辐射电子器件的理想材料，在军工、航天、固态照明和电力电子等领域具有重要的应用价值，因此成为当前全球半导体材料产业的前沿和制高点之一。
我国相关研究起步晚，加上国外技术封锁和产品禁运，SiC晶体已成为严重制约国内第三代半导体产业发展的关键基础材料。1999年以来，在国家自然科学基金委、科技部和...
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