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生产100cmX100cm多晶硅锭的工艺与设备研究

2010年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

本成果围绕制造太阳能电池硅片生产过程中的铸锭工艺与铸锭设备开展研究工作。对大型铸锭炉建立了炉子热场与流场的数据模型，进行了优化仿真，采用自行研发的工艺与设备，在热场设计、炉体结构、传动技术与工艺控制方面具有重大创新，在国际上首先成功制备出800公斤的多晶硅锭。其对比450公斤的硅锭，高度增加40%，硅锭效率提高61%，可切片比率提高13%，对于降低硅片成本及节能减排具有示范意义。...

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