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柔性衬底透明导电膜的制备

1999年

应用技术

中期阶段

成果简介

该项目在柔性衬底上制备透明导电膜的方法和制备条件的探索具有十分重要的意义。因为柔性衬底透明导电膜应用前景可观，这不但具有玻璃衬底透明导电膜的特点，而且还有许多独特的优点，如可绕曲，重量轻，耐冲击，易于大面积生产，便于运输等。我们用磁控溅射法在柔性衬底上制备出了高质量的ITO透明导电膜，其技术指标如下：1.制备仪器：JG-PF3B型磁控射频溅射设备。2.靶的成分：纯度为99.99%In2_O...

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