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高能量离子注入法在砷化镓霍尔器件产品研制中的应用

2010年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
霍尔器件主要用来检测磁力。砷化镓材料具有高电子迁移率和高电子饱和速度的特点，因而利用该材料制成的霍尔器件与利用其它材料制成的霍尔器件相比较，具有线性度高、耐高温性好、灵敏度高、性能稳定等优点，从而扩展了霍尔器件的使用范围和应用领域，广泛应用于汽车电子工业，精密测量、自动化控制、通讯、计算机、航天航空等工业部门及国防领域。
项目产品的技术来源于中国科学院半导体研究所以及北...
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