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ELEDETM330 LED等离子刻蚀机

2010年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

1.制定了“工艺指导设备研发”的技术思路，以客户工艺需求为牵引，通过工艺性能的实现，有针对性地提出设备的硬件设计和改进要求，从而准确地满足生产线指标要求。通过大量工艺研发数据特别是LED生产线批量生产数据的积累，掌握了设备硬件性能对工艺参数控制的影响规律，为刻蚀机的设计、改进提供了重要参考依据。通过本地和生产线工艺检验，该设备硬件、工艺等技术指标均达到国内领先、国际先进水平。
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