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战略导弹高精度导航陀螺仪关键件的离子束制备技术

2010年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　项目成功地把MEVVA离子注入技术和磁过滤真空弧源沉积技术进行了有机的组合，形成了一套适合高精度陀螺仪动压气浮轴承的类金刚石薄膜的制备技术，制备出了具有高结合强度的优质类金刚石膜，能在低温下（近100度）形成含有高SP3键的类金刚石膜，使制备的类金刚石膜具有高精度、高硬度和高耐磨性，并自行研制了关键专用设备——MEVVA离子注入和磁过滤真空弧源沉积复合机，满足了高精度陀螺仪动压气浮轴承的类金刚...
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