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一种化学气相传输方法生长氧化锌晶体的方法

2010年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明涉及一种化学气相传输方法生长氧化锌晶体的方法，属于晶体材料领域。其方法包括如下步骤：1)采用高纯ZnO密实块体作原料，以碳或石墨为催化剂，在氧化锌或外延有氮化镓(或氧化锌) 单晶层的蓝宝石晶片上生长ZnO单晶；2)使用石英或金属安瓿，真空密封后加热至原料端1000-1150℃，籽晶端950-1100℃。本发明是工艺简单、成本低，可以获得高质量大尺寸氧化锌晶体，并且可以通过改变工艺条件...
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