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微型红外气体传感器

2010年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

微型红外气体传感器来源于某横向合作课题，该产品是利用MEMS加工技术，研制基于红外光学原理的气体传感器。并将其应用于危险化学品的安全生产、运输、仓储等过程中的泄露问题进行实时监测，为安全生产提供重要保证。经过项目组成员努力进行技术攻关，在宽量程、高精度MEMS微型红外气体传感器的研制，防尘、防水、防爆等技术的研究，器件稳定性和可靠性等方面取得突破，研究的主要内容有：
（...

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