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Si基MEMS红外光源制造技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
一、项目特点
Si基MEMS红外光源具有很多优点：
①光源具有体积小、能耗低和寿命长的特点。根据不同的使用目的和要求可封装成标准的单个和阵列器件，即插即用，方便可靠；
②光源可在连续工作模式和脉冲模式下工作，高调制特性可实现编码调制的隐蔽工作方式，因此在军事目标敌我识别上有较大应用前景；
③光源可实现低成本大批...
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