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大流量尘埃粒子计数器的光学传感器

2009年

应用技术

成果简介

该项目研发了一种大流量尘埃粒子计数器的光学传感器。
应用领域：超净环境洁净度检测。
技术指标：采样流量28.3L/min，最小探测粒径0.3μm，对0.38μm和0.54μm标准粒子的分辨率可以做到75%以上，计数效率效率大于90%（0.38μm）。
创新内容：结构简单，成本低，相关性能达到国家标准要求，在国内同类产品中第一个通过...

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