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多晶硅提纯的除P工艺及设备

2008年 应用技术
  • 成果简介
一、项目名称
多晶硅提纯的除P工艺及设备
二、技术概况
P是硅中的主要非金属杂质元素,在硅熔体中的分凝系数为0.35,用传统的定向凝固方法很难去除。本技术采用2N的工业硅为原料,通过真空电磁感应熔炼除P和快速顺序凝固工艺去除工业硅中的大多数金属杂质。设备包括电磁感应加热装置、强烈搅拌对流装置、倾倒和真空大气转换装置。主要通过自主设...
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