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倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动光开关及其制作方法

2009年 应用技术
  • 成果简介
发明涉及一种具有倾斜下电极结构的扭臂式静电驱动微机械光开关及其制作方法。光开关由扭臂1、微反射镜2、上电极3、绝缘层4、倾斜下电极5组成。其中，微反射镜的镜面和上电极相垂直，扭臂、微反射镜和上电极为一体结构，在同一硅片上制作；倾斜下电极平面相对于上电极平面向下倾斜一定的角度x，下电极在（111）硅片上制作，硅片的法线方向为由〈111〉方向向最近的〈110〉方向偏转一定角度x。具有倾斜下电极...
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