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太阳电池用ZAO透明导电薄膜

2009年 应用技术
  • 成果简介
透明导电氧化物薄膜具有良好的导电性能和透光性能,广泛应用于平面液晶显示(LCD)、电致发光显示(ELD)、等离子体显示(PD)以及太阳能电池、热镜、电磁屏蔽等。在相当一段时间内,In2O3:Sn (ITO) 薄膜作为一种典型的透明导电氧化物薄膜得到了极广泛的应用,但ITO 薄膜中的铟有毒,在制造和应用中对人体有害;ITO 中的In2O3 的价格昂贵,成本较高,ITO 薄膜易受氢等离子体的还...
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