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集成化弱磁场传感器及其测试系统

2008年 应用技术
  • 成果简介
一、成果简介
磁场传感器是传感器领域重要的一类。它在磁场测量、电机控制、微机械等方面起着不可替代的作用。而对于弱磁场的检测由于其应用的广泛以及其测试的难度，在学术界和工业界更是受到高度的重视。本项目主要针对AMR薄膜的磁性结构、传感器结构及偏磁技术开展了综合性研究。研制的集成化弱磁场传感器及其测试系统，测试灵敏度优于10mV/Oe，经省级鉴定，达到国际先进水平。
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