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太阳能电池玻璃镀膜设备(真空镀膜设备)

2009年

应用技术

成果简介

　　项目简介：本设备主要是利用物理溅射的方法实现在玻璃基片上完成太阳能电池的镀膜工艺。主要包括传送系统、真空系统、阴极溅射系统和工艺控制系统四个部分，其中传送系统完成自动将玻璃基片装载到基片框架上，通过磁流体、同步轮、同步带和导向，由电机驱动往复运行。在真空系统中转板门阀使真空锁室、缓冲室和真空镀膜室分开，同时也使真空锁室与大气隔离开，真空锁室配有双级罗茨泵+滑阀泵机组，进行快速抽空降压，真空度可...

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