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具有自支撑的非晶硅热成像探测器微结构的制作方法

2010年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本研究成果提供一种在硅片上制作非晶硅非致冷焦平面红外热成像探测阵列悬空微结构的工艺，采用该方法制作的非晶硅非致冷焦平面红外热成像探测阵列悬空结构性能良好，而且工艺简单、稳定、重复性好、适用于实际工业生产的需要。
本研究成果所提供的非晶硅非致冷焦平面红外热成像探测阵列的悬空结构的制作工艺具有以下优点：
1.采用悬空的膜式结构来改善探测器的热绝缘性...
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