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Si基集成化窄带响应可调谐光电探测器及Bonding技术

2009年 应用技术
  • 成果简介
中国科学院半导体研究所研制成功第一批Si基集成化窄带响应可调谐1.3～1.65μm全波段光电探测器。该器件采用共振腔增强型结构和特殊异质芯片Bonding专利技术，既保持了高量子效率又有很低的暗电流，可用於波分复用光网络中的甄别探测和在强背景光干扰下弱光信号的高速选频探测。
　　主要指标：
　　(1)工作波长：1.3～1.65μm　　响应谱宽：＜10.0nm　　响应...
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