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DSS炉二次加料装置的试制

2009年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该项目是采用二次加料装置，在硅料熔化后加入新硅料。采用该装置可以减少对坩埚装料容积度的要求，降低成本，提高材料利用率。
国外在单晶硅铸锭炉加料装置有过报道，现有的相应技术也相对成熟，但在多晶硅铸锭炉的连续加料情况还没有发现。我们首次利用多晶炉连续加料装置，在不增加坩埚成本的基础上，提高单炉产出量。
首次提出并实现多晶炉连续加料（特别是加入不规则的固体...
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