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AlN/Diamond/Si多层膜声表面波器件及其高频特性研究

2009年

软科学

成果简介

利用本课题组发明专利“适用 SAW 器件的纳米金刚石膜的制备方法”，在Ar、O2、H2、CH4 四种混合气氛中，制备了致密、均匀、晶粒细小（100～150nm）、同时满足高的sp3 含量的金刚石膜；研究了在以氮终止的衬底上生长A1N 薄膜机制，发现在以氮终止的硅衬底、金刚石衬底比较容易得到高c 轴择优取向的A1N 薄膜；研究了“AlN/金刚石”多层膜的最佳优化结构，制成了AlN/金刚石/硅...

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